Informatika és tudomány

  • kvp
    #7
    "És nem biztos hogy hosszútávon az a legmenőbb dolog"

    Az eUV mellett (amit leginkabb a visszaverodes miatti tul vagy alul maras zavar) meg mindig ott van a rontgenes levilagitas, ahol ugyan nincs visszaverodesi problema, de nehezebb kialkaitani a maszkokat.

    A kozvetlen reszecskesugaras (kvazi plazma marasos) technika viszont teljesen mas elvet kovet, szoval amennyivel jobb eredmenyt hozhat, annyival nehezebb atallni ra, mert teljesen mas technologia. (kb. olyan mint a fotomaratott nyak technologiarol atallni lezerrrel cnc-zettre)